光镀膜机工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度，材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大，蒸发出来的蒸汽分子向四处直射，碰到基片就沉积在基片表面形成膜层。
光镀膜机维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。
一、电子枪安装与维护
电子枪蒸发源控制系统是由电子枪灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸发源等组成一个电子枪控制电柜。
电子枪控制电柜内含有高压，在工作前必须保证柜门各个联锁装置正常工作，非专业人员不得打开电柜门，电子枪在工作时不得打开电柜门，整个电柜必须有良好的接地并与机台接地连接。
电子枪蒸发源安装在真空室底板上，必须与底板有良好的接地效果，安装蒸发源必须使用不锈钢螺丝来固定，周边200mm以内不得有导磁的物体，否则会影响到电子枪的光斑成表，造成电子性能的不良。电子枪档板应尽量装在蒸发源坩埚的中心上30mm处，以不影响电子束的发射为好。
电子枪蒸发源是一个精密机械加工体，在工作时必须保证有良好的冷却水，如过高的温度会影响电子束的成型及各密封圈的性能。
（一）电子枪头
电子枪的枪头安装好坏直接影响到工作的正常进行，其发生的故障有90%同电子枪枪头有关。
电子枪枪头有使用一段时间后，会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率，需要拆卸清洁。
（二）坩埚的维护
拆坩埚之前，请先关掉水路用压缩空气把电子枪冷却管内的水分尽可能吹干净。
蒸发源装卸顺序：
1.拆落两条冷却水连接管。2.拧出电子枪枪头连接高压线两个螺丝。3.拆坩埚传动连接座、联轴器。4.拧落蒸发源四个固定螺丝。5.把蒸发源搬运到一个稳定平整的工作台。6.拆落坩埚盖板四个螺丝，取下盖板打磨干净。7.检查盖板上面两个密封圈是否需要更换。8.把蒸发源反转过来倒置，用木板垫住坩埚部分。9.拧下固定坩埚转动四个螺丝10.抬起蒸发源，取下坩埚 11.把坩埚倒置，拧下坩埚底盖的八个螺丝，清洗干净里面的污垢，检查是否需要近密封圈。12.拧下导水管的一个螺丝13.拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺丝 14.拨出坩埚转动轴，检查转动轴的油封是否需要换件 15.把坩埚清洁干净安装。安装按上面的倒过顺序来进行。
（三）导磁板及扫描圈的维护
导磁板及永磁铁是不需要经常拆卸维护，如需拆卸，请注意永磁铁的极向，及导磁板的方向。线圈由于安装的空间密实，请不要使用硬尖的东西撬动，否则有可能会造成损坏。
二、光路的检修与维护
光路调整的先决条件是：确保直流稳定电源、调制光源头、光纤、光栅单色仪、光电转换放大器、光学膜厚仪及各电缆的完好和正确接入。特别是光电转换放大器、光学膜厚测量仪的接地点，必须单独归至主机接点牢固接地。
三、光学镀膜机的清洗
光镀膜机使用一个星期后（三班），因镀料除镀在工件表面 外，亦因无定向性而工作室 内的衬板上镀料，并越镀越厚，该层膜厚因组织、繞疏松，吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时，应对工作室及衬板进行清洗，如不必要拆落来的部件，可用砂纸打磨干净，衬板可浸泡在水溶液里，和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。
注：衬板必须烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的所有灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。后安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。
因使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。
四、光学镀膜机的保养
（一）定期更换扩散泵油
扩散泵油使用一段时间，约二个月（两班），因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时，应予更换。
（二）真空泵
机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。
（三）清洁卫生
定期将设备及其周围环境卫生搞好，常保持设备内外清洁，将设备周围环境整理有条，有一个好的工作环境，以保安全。
