CTR100N莱宝真空计,CTR100N莱宝真空规管
此真空变送器提供四 (4) 位十进制测量范围,并基于薄膜与固定电极之间的电容进行测量。不论处理气体成分如何,其输出均相同 – 无需气体校正系数。
它的应用非常广泛,可用作独立设备或与合适的控制设备配合使用。CTR 100 N 变送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模拟输出信号。此输出可连接至外部模拟设备,获取压力读数,或进行压力控制。此变送器还配备 RS232 数字通信接口,可设定变送器参数并提供实时压力测量。有关此接口的详情,请参阅 RS232 指导手册 300544665。
传感器技术
此变送器通过测量薄金属膜与图案化电极之间的电容进行工作。当处理压力发生变化时,薄膜改变其相对于电极的位置,促使电容发生改变。电容的变化与压力的变化成正比。由于薄膜位置与气体类型无关,因此不论气体成分如何,变送器都提供相同的输出信号。薄膜和传感器全部由镍合金构成,从而它能够抵御腐蚀或氧化所造成的损害。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如:半导体、分析和涂料工业中:
一般真空压力测量
气体回填测量和控制
薄膜沉积处理,例如蒸发、溅射和化学气相沉积 (CVD)。
高级材料处理,例如真空炉和陶瓷烧结。
溶液和油液的真空脱气。
等离子和化学清洗。
分析仪器,例如电子显微镜、热分析仪和质谱仪。
技术数据
全量程测量范围:
1000, 100, 20, 10, 1 和 0.1 托
精确度 (1)
范围 ≥ 1 托: 读数的 0.20%。
0.1 托范围: 读数的 0.50%
分辨率(2)
全量程的 0.003%
电源电压:
+14 至 +30 伏直流;0.030 安时的额定电压为 24 伏直流
功耗:
< 1 瓦
模拟输出:
0 – 10.00 伏直流
响应时间:
F.S 范围 ≥ 1 托,从 F.S 的 0% 至 90%,响应时间为 40 毫秒。对于 0.1 托,从 F.S 的 0% 至 90%,响应时间为 80 毫秒。
采样率:
对于范围 > 1 托 (1.33 毫巴) 的变送器,模拟输出信号大约每秒更新 1000 次对于范围 ≤ 1 托 (1.33 毫巴) 的变送器,模拟输出信号大约每秒更新 500 次
暴露在真空中的材料:
Inconel® 和 Incoloy® 镍合金。KF 和 CF 法兰由 300 系列不锈钢制成。
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