iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59040946

技术数据

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

极限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型轴封氮流量                4 slm

进气口连接                ISO160

出口连接                NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

极限功率输入                4.1 kW

电机额定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH1800爱德华干泵维修，iH1800爱德华真空泵维护保养