iH1800爱德华半导体干泵维修
iH1800 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59040957
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
iH1800 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59060945
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59042908
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59042945
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59042946
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59042957
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59062945
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
通过增加正常运行时间、减少对环境的影响以及良好的成本效益，iXM 低能耗干泵可为您的关键应用带来真正的制程改进。
高效的根源机制可将输入功率减少多达 60％，从而减少对环境的影响并降低总体使用成本
气体阻隔技术和隔热设计方面的改进使产品的抗腐蚀性比我们之前的系列提高了四倍
先进的粉尘处理功能可为多层蚀刻工艺提供更高的可靠性，延长真空泵使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗
紧凑轻巧的设计，加上极低的噪声和振动，可提供更多的用途
采用 Xcede 技术，增强了耐腐蚀性。
半导体干泵用于重型应用的 iXH 系列
iXH 干泵系列为严苛的工艺能力、可靠性和更低的拥有成本树立了新标准。
宽广的温度范围使您可以对真空设备进行优化，更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
iXH Mk2 干泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命，并且可以显著提高功效
创新的密封技术可以延长制程寿命并降低泄漏风险
采用 Xcede 技术，增强了耐腐蚀性。
iH1800爱德华半导体干泵维修
