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XDS10/XDS5爱德华涡旋泵密封包详细介绍
更新时间:2022-08-08   点击次数:1159次

XDS10/XDS5爱德华涡旋泵密封包详细介绍

XDS10/XDS5是爱德华老款涡旋泵密封包有密封圈,O型圈,气镇阀包

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式涡旋泵

Edwards 干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。


当需要无油抽空时,涡旋泵是旋片泵的替代品。


Edwards XDS35i 干式涡旋泵

Edwards XDS35i 干式涡旋泵


轴承护罩

确保制程气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染,从而延长轴承使用寿命。


智能电机驱动

意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。


高流速气囊功能

允许泵送蒸汽,包括高达 240 gh-1 的水蒸汽


简便的单侧涡旋设计

可在数分钟内完成维护,以降低拥有成本并程度延长正常运行时间。


更进一步

增强型在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求,这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室,且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25%,这也有助于提高应用循环频率。

XDS 干式涡旋泵

在干泵真空领域,XDS 干式涡旋泵已成为行业标准,在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方


XDS10/XDS5爱德华涡旋泵密封包详细介绍

XDS5-10C密封包8.jpg


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