真空泵是一种用于制造、研究和分析高真空环境的设备，它起到将气体从一个封闭空间中抽出的作用。真空泵的主要原理是通过使泵室内的气体分子在泵壳壁上碰撞、吸附和扩散的作用下，逐渐降低泵室内的气体压力，达到一定的真空度。一般情况下，真空泵采用机械泵、分子泵、扩散泵等多种方式进行真空抽取。

　　随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

　　常见的真空泵故障有以下几种：

　　1.泵体温度升高，散热不良。润滑油不足或混水。

　　解决方法：检查或更换润滑油，将散热器清洗干净，减少摩擦造成的热量。

　　2.泵室漏气现象。泵室密封圈损坏或泵室内部零件松脱。

　　解决方法：更换泵室密封圈或紧固松动的零件，加强检查，确保泵室内部密封良好。

　　3.真空度下降。进气口卡垢或泵室密封圈老化开裂。

　　解决方法：清洗进气口或者更换密封圈，加强防尘措施。

　　4.泵机异响或运行不平稳。机械部件磨损或输出轴不平衡。

　　解决方法：更换磨损的机械元件或输出轴，精调输出轴的平衡状态。