中国台湾汉钟iPM600螺杆泵维修

中国台湾汉钟iPM600螺杆泵维修

IPM半导体中度严苛系列 型号有iPM100,iPM600
用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特点：绿色制造、全新系列干式真空泵
      体积小、耗功低、大幅度降低成本
      用于中度严苛制程的节能泵

汉钟PD变距系列干式螺杆真空泵主要特点：
汉钟螺杆真空泵排气路径短，减少反应物沉积
hanbell干式螺杆真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵内的传输路径最短，最不易产生反应物沉积的现象。
汉钟螺杆真空泵线形密封性佳，泵浦性能佳
Hanbell干式螺杆真空泵，*转子密封线形，转子密封性佳，转子能以较大的啮合间隙达到更快的抽气效果，由于汉钟真空泵的啮合间隙较大，泵浦较不易因制程气体沉积而卡死，转子也较不易因磨耗而需更换。
汉钟螺杆真空泵结构简单，故障率低，维护容易
Hanbell干式螺杆真空泵因只需要利用一对转子相互啮合达到密封效果，结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计，降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯，拆卸维修也比较容易，因此能缩短维修时程，降低维修费用。
汉钟螺杆真空泵微电脑操作，远端监控，保护周全
Hanbell干式螺杆泵微电脑控制器提供真空最简易的操作方式并能显示真空泵完整的运转状态，方便使用者对泵应用状态进行调整，在真空泵产生问题前进行预防保养。远端监控系统能够提供使用者方便的监控工具，使用者不需到现场就能够了解真空泵的运行状态。
 
汉钟螺杆真空泵典型应用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太阳能Solar
冶金系统Metallurgical System
镀膜Coating
电浆制程Plasma processes
干燥处理Drying Process
制程气体抽取Degassing
生技/制药Biotech/Pharmaceutical
化工产业Chemical Industry
锂电池Battery

PA油螺杆真空泵型号PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+系列真空泵是一款节能，环保的永磁变频微油螺杆真空泵。

高效能

得益于变频驱动控制，PA VSD+可提供所需的流量而不会过量，避免浪费能源。新型的螺杆型线设计，性能提升。采用IE4高效永磁电机直接驱动，的降低功耗。

中国台湾汉钟iPM600螺杆泵维修