真空计PTR200N莱宝真空泵

真空计PTR200N莱宝真空泵

 PTR 200 N PENNINGVAC 系列真空变送器可提供从 1×10-8 毫巴至 1500 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性、压电传感器中硅膜的机械偏转和冷阴极 (CC) 电离电流的测量结果。
PTR 200 N PENNINGVAC 变送器配备 RS232 数字通信接口，可设定变送器参数并提供实时压力测量。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232)。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，获取压力读数，或进行压力控制。
传感器技术
PTR 200 N PENNINGVAC 变送器含有两个独立的传感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。
冷阴极反磁控管采用高电压阳极、阴极和永磁体。电子向阳极加速，并将通过碰撞而使分子离子化。磁场使电子偏转，从而使电子在穿过磁场前往阳极时做螺旋形移动。这种螺旋运动增大了电子遇到分子并使分子离子化的机会。
分子离子化产生电流，该电流是压力的函数。这两个传感器元件均极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
 一般真空压力测量
 气体回填测量和控制
 涂料
 质谱仪控制
 系统过程控制
 检测异常压力，利用设定点继电器采取妥当的安全措施
 控制系统压力

真空计PTR200N莱宝真空泵