深圳XDS46i爱德华涡旋泵

深圳XDS46i爱德华涡旋泵

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式涡旋泵

Edwards 干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。

当需要无油抽空时，涡旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

轴承护罩

确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。

智能电机驱动

意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。

高流速气囊功能

允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽

简便的单侧涡旋设计

可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并大程度延长正常运行时间。

更进一步

增强型在初始抽空期间可减少多达 20％ 的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25％，这也有助于提高应用循环频率。

XDS 干式涡旋泵

在干泵真空领域，XDS 干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。

现在，结合的双启动涡旋形式技术和旁通阀，Edwards 得以提供 XDS35i 增强型系列泵，以补充我们原有的产品线。

nXDS 干式涡旋泵

nXDS是我们新一代的涡旋泵，与其他泵相比，具有更高的抽取速度、更低的极限压力、更低的功耗和更低的噪声级。

nXDS 泵的设计力求实现*现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔可降低拥有成本，使其成为当今技术的小型干泵。

产品特点：

温控风扇：可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使噪声降至仅 52 dB(A)。

轴承罩：可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

变频器驱动：范围内泵性能*相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造很好的用户体验。

涡旋盘经优化设计后：转速提高，极限真空比一代提高一个数量级，低到极限压力仅为7 x 10-3mbar。

经优化设计的端面密封技术：使得使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到 2 年以上。

高流量气镇特性：可实现高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

产品应用：

一般清洁泵送应用，电子扫描显微镜-SEM，射束线和高能物理，前级涡轮泵，超高速离心机，覆层，低温学，脱气/硫化-油，环氧树脂，蒸馏/萃取/过滤，冷冻干燥，熔炉，凝胶体干燥，实验室工作台上真空，激光、气体回收和再循环，氦检漏仪，负载锁和传输腔，稀有气体再循环，稀有气体回收，冷冻制造，研发，旋转离心蒸发器，SEM/FIB（离子束维修），溶剂回收，表面科学仪器。

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