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iH600爱德华干式泵维修

更新时间:2024-07-04

简要描述:

iH600爱德华干式泵维修
iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59040946
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 产品厂地:东莞市
  • 访问次数:1403
品牌Edwards/英国爱德华输送介质其他
泵轴位置其他叶轮数目其他
应用领域医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子
iH600爱德华干式泵维修
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
技术数据
峰值速度                 518 m3h-1
                                305 cfm
                                8635 l min-1
极限真空                 2 x 10-3 mbar
                                1.5 x 10-3 Torr
                                0.2 Pa
典型轴封氮流量                 4 slm
进气口连接                 ISO100
出口连接                 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
                                4 l min-1
重量                         415 kg
极限功率输入                3.1 kW
电机额定功率            5.1 kW
油容量                         1.43 l
 

功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积

概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
 
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

 东莞市鸿鑫真空设备有限公司专业维修爱德华iH系列,iXL系列等干泵
iH600爱德华干式泵维修

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