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半导体PS2002/PS2202汉钟螺杆泵维修保养

更新时间:2024-07-04

简要描述:

半导体PS2002/PS2202汉钟螺杆泵维修保养PS系列螺杆真空泵
定螺距螺杆转子特点:
1、结构简单,故障率低,成本较低,易维修
2、高压段功耗相对低,适用于高负载应用场合
3、排气路径短,减少反应物沉积

适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程
PS系列螺杆真空泵型号:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺杆真

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 产品厂地:东莞市
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品牌其他品牌输送介质其他
泵轴位置卧式叶轮数目其他
应用领域生物产业,能源,电子,航天,电气

半导体PS2002/PS2202汉钟螺杆泵维修保养

PS系列螺杆真空泵

定螺距螺杆转子特点:

1、结构简单,故障率低,成本较低,易维修

2、高压段功耗相对低,适用于高负载应用场合

3、排气路径短,减少反应物沉积


适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程

PS系列螺杆真空泵型号:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802


PD系列螺杆真空泵型号:PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高压段抽速快

能耗可降低30%以上

气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水的系统环境

可提供符合ATEX标准的产品

变螺距螺杆转子特点:

1,运行温度低,适用于要求泵体表面及排气温度低的场合。                2,运转功耗低,适用于轻负载应用场合,更节能。                        3,运行噪音更低,适用于运行噪音低的场合,如:贴合机,无尘室。

4,相同长度转子,抽气量更大。适用于大抽气量的真空需求。


真空压力:≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa


汉钟PS系列、PD系列维修


维修步骤:

1、螺杆泵来料检验,真空度、运行时间、振动值、驱动器、电气参数。

2、全部拆卸,油污清洁,打磨。

3 、按“螺杆泵维修处理通知单"更换所必需的零件,如:轴承、轴套、套筒、密封圈、齿轮,以确保可靠的优质服务和泵浦使用寿命。

4、泵的平衡,利用平衡和分析设备,调试佳的状态,以减少噪音、振动,延长轴承寿命。

5、测试检查,参照原厂参数检测,结合客人实际要求与螺杆泵磨损

PMF半导体干净系列

用途:Semi conductor,Load lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing

PMF系列型号有PMF100,PMF120,PMF612


半导体PS2002/PS2202汉钟螺杆泵维修保养

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