真空镀膜机英福康振荡器单元配薄膜控制仪

真空镀膜机英福康振荡器单元配薄膜控制仪

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多的功能

，可帮助您实现沉积过程的大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨

率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的。IC6 具有其

他石英晶体控制器比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程的可重复性。

功能

INFICON ModeLock 技术确保获得高、稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率低的情况下

Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度

支持zui多六个来源同时共镀膜

彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz

USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，

14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）

6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控

可容纳多 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。

多路传感器可平均分配为 8 个传感器

4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆

可选以太网通信

符合 RoHS 标准

典型应用

光学镀膜

真空镀膜机英福康振荡器单元配薄膜控制仪

镀