VSN7502爱发科旋片真空泵VSN6501 / VSN7501 油旋片式真空泵 特长 低振动 叶片型构造，大幅降低了振动传导较大的低频领域的振动。 内置式油雾过滤器 无需安装外置的油雾过滤装置，结构紧凑。 优秀的排水气能力 可直接搭载罗茨泵使用，连接简单方便。 有效的空气冷却，同时水冷可选 在非开放式厂房环境，选用水冷可有效节能。 用途 • 镀膜、溅射、离子镀。 • 气体置换、充填

爱发科VSN6502旋片真空泵低振动 叶片型构造，大幅降低了振动传导较大的低频领域的振动。 内置式油雾过滤器 无需安装外置的油雾过滤装置，结构紧凑。 优秀的排水气能力 可直接搭载罗茨泵使用，连接简单方便。 有效的空气冷却，同时水冷可选 在非开放式厂房环境，选用水冷可有效节能。

VSN3001爱发科真空泵 VSN3001 油旋片式真空泵 VSN3001-W VSN3001-W是单级油旋片式真空泵。在同类产品中占地面积最小，可直接搭载罗茨泵。另外，内置了油雾过滤器和回油装置，排气性能长期稳定。此外，设计上还考虑到了油和滤芯更换等维保的便性。

镀膜机VSN1501爱发科真空泵 VSN1501爱发科真空泵参数：（50Hz） 设计抽气速率： 150m³/h（2500L/min） 极限压力： 5.3pa（气镇阀关） 67pa（气镇阀开） 电机功率： 5.5kw 电压： 380V

爱发科VDN902真空泵配套等离子设备VDN902爱发科真空泵参数：（50Hz） 设计抽气速率： 90m³/h（1500L/min） 极限压力： 0.67pa（气镇阀关） 2.0pa（气镇阀开） 电机功率： 3.7kw 电压： 380V 用油量： 2.5

ULVAC爱发科NB600B罗茨真空泵冷冻干燥NB100B-NB1200B罗茨式真空泵 特长 洁净的真空 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。 能在高吸入压强下运作 选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。 用途 • 照明、电子、光学、半导体。 • 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。 • 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。 • 真空热处理炉、烧结炉、钎